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半导体工艺演进洞察 根据IRDS的乐观预测,未来5年,逻辑器件的制造工艺仍将快速演进,2025年会初步实现Logic器件的3D集成。TSMC和Samsung将在2025年左右开始量产基于GAA (MBCFET)的2nm和3nm制程的产品[17]。 按照TSMC给出的工艺演进路标,2023~2025年基本以3nm...
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